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產品詳細頁
四探針法晶圓電阻率測試儀

四探針法晶圓電阻率測試儀

  • 產品型號:GEST-201
  • 更新時間:2021-05-14
  • 產品介紹:四探針法晶圓電阻率測試儀主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。
  • 在線留言 010-57223838

產品介紹

全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品名稱:全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品型號:GEST-201

一、產品概述

本儀器主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試

二、儀器構成:

本儀器主要組成部分有:

1、 高精度電阻率測試儀

2、 三坐標測試移動平臺

3、 測試探頭

4、 上位機軟件測量成像系統

高精度電阻率測量儀:

1、測量范圍

1.1電阻率:0.00001~20000Ω.cm (可擴展)

1.2電導率:0.00005~10000 s/cm;

1.3電阻:0.00001~20000Ω.cm;

2、電壓測量:

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.2分辨力:10μV;

2.3 精度:±0.1% ;

2.4顯示:觸摸屏操作顯示

3、恒流源:

3.1電流輸出:10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

3.2電流誤差:±0.5%

3.3各檔連續可調

三坐標測試移動品臺:

1、X軸Y軸移動行程:120MM

2、X軸Y軸*小位移量:0.125MM

3、R軸*小分度值:0.0125°C

四探針測試電極:

1、間距:1±0.01mm;
2、針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 
3、機械游移率:≤0.3%;
4、探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
5、 探針壓力:5~16 牛頓(總力);

上位機軟件測量成像系統

1、 測量方式:弧度測量、角度測量

2、 測量點數:可以設定

3、 測試數據:實時同步顯示

4、 2D成像:測試完成后,可以立體成像

5、 數據導出:可以保存測試數據生成電子版本

 

 

 

將會得出與運行經驗的相對應的判據。在流動的冷水下,用有金剛石層的圓鋸片從正常生產的絕緣子上沿與芯棒軸線成90°的方向切割下10只試品,試品長度應為10mm±0.5mm。切面應用細砂布打光(砂粒大小為180目),兩端的切面應是清潔和平行的。試品應(纖維垂直)地放入玻璃容器內,置于一層直徑相同(1mm?2mm)的鋼球或玻璃球上,將1%的品紅乙醇溶液(1g的品紅放入100g的乙醇中)染料倒入容器中,使其液面應比球層的上平面高2mm?3mm,染料可因毛細作用而從芯棒內上升,測量染料上升貫通試品的時間。染料上升貫通試品所用的時間應長于15min。在流動的冷水下,用有金剛石層的圓鋸片從正常生產的絕緣子上沿與芯棒軸線成90°的方向切割下6只試品。

試品長度應為30mm土0.5mm。切面應用細砂布打光(砂粒大小為180目),兩端的切面應是清潔和平行的。試品的表面在煮沸前應先用異丙醇清洗并用濾紙擦凈,將試品放入含0.1%重量NaCl的去離子水的玻璃容器內煮沸,在同一容器中,只能放入所切割的同一種芯棒材料試品在一起煮沸。沸騰容器示例見圖2。在沸騰時間到了以后,將試品從玻璃容器中取出,在周圍溫度下置于裝滿自來水的另一玻璃容器中,持續至少15min。在試品自沸騰容器中取出后3h內進行按5.4.2.3的電壓試驗。電壓試驗應在圖3和圖4所示的裝置中進行。注:對較大直徑的試品,電極的直徑也應加大,電極直徑至少應比試品直徑大20mm。T1——調壓器;T2—變壓器;

 

 

 

四探針法晶圓電阻率測試儀

四探針法晶圓電阻率測試儀

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